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试生产的时候宋远带着几位技术大拿过来,看着工人们艰难的打开单晶炉取出里面的石英坩埚换上新的坩埚,好奇的问道:“黄总工,这坩埚要经常换?”
黄总工点头笑道:“是的宋经理。因为里面的高温还有多晶硅融化后对石英坩埚有侵蚀作用,一个石英坩埚只能用上两三次就要换新的,要不然生产出来的硅棒良品率低!”
宋远恍然大悟,想了想觉得不对。后世自己有印象抖音上提到过石英坩埚可以使用数十上百次,怎么现在只能用几次?
回想了好一阵,宋远试探的问道:“黄总工,既然这样能不能找出来一种耐高温和腐蚀的溶液喷到坩埚上,这样不就能多用几次?”
黄总工如遭雷劈一般愣在那里,大脑开始飞速运转起来:对啊,石英坩埚扛不住,那给它穿上一层衣服保护起来不就好了?
愣了好一会黄总工急切的拉住宋远的胳膊:“宋总你还知道什么?都给我说说!”
宋远努力回想着上辈子的记忆,想了很久又说道:“我在国外听人说过一嘴,好像是氢氧化钡溶液!”
黄总工回忆了一下氢氧化钡的物理性能,一拍大腿说道:“还真有可能!宋总您先转,我现在去做实验!”
这回轮到宋远拉住他了:“还有一个啊,我听人说这个单晶炉里国外有种思路,就是在单晶炉里加个挡板什么的,叫什么热屏障可以把热量束缚在下方,从而提升效率!”
黄总工心里默默推算了一下热屏障的作用后,忍不住给自己一个大嘴巴子:“我真是猪脑子,连这么简单的原理都想不到!”
说完他丢下宋远直奔技术处而去。
事实上这个热屏障技术难度低、成本小、效果还好,全看能不能想到。
加装一个热屏障,增加了单晶炉熔炼区的温度,又减少了对于结晶生长的单晶棒的影响好处极多。
首先第一点好处就是一炉单晶棒的生长速度能从七天缩短到三天,效率倍增;不仅如此,减少了无效的热量消耗后一座单晶炉每个小时的能耗从120度电降低到90度,再算上减少四天的时间,能耗整体降低到原来的40%。
最关键的是少了下方的热量影响晶圆生长,晶圆的良品率能增长到80%以上。而单晶生长更稳定,才能为后面的3英寸乃至6英寸晶圆打下基础。
历史上也是有了热屏障技术,6英寸的晶圆制备技术才算成熟开始大规模推广。
正因为有这么多好处,上辈子一直到90年代我国引进了二三十条三英寸的晶圆生产线,统统都不带热屏障技术,国外的那些无良商家试图以此来继续误导我们的发展。
黄总工很快就验证了宋远的说法,特别是热屏障的使用直接让晶圆的良品率翻倍、成本下降了三分之二,整体核算一下仅在晶圆这方面的成本只有原来预计的30%。
而氢氧化钡溶液也效果显着,喷涂了溶液的石英坩埚使用寿命翻了10倍还多,达到生产二三十次后才需要换新的。
这一下成本又降低了20%,晶圆的成本只有原来的四分之一,每个月更能生产出3吨以上的高品质晶圆。
上面得知了这个消息后欣喜若狂,有了高品质晶圆又有了国产光刻机,我国的半导体行业终于可以起飞了!
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